一、項目背景
集成電路生產(chǎn)幾乎每道工序需要超純水進行清洗，工件與水直接接觸，水質(zhì)達不到標準，水中的微量雜質(zhì)可能使芯片再污染，對產(chǎn)品產(chǎn)生的影響不言而喻。隨著集成電路不斷精細化，集成電路生產(chǎn)對水中污染物要求越來越嚴格，從六十年代末期，美國五家公司提出的集成電路用純水水質(zhì)指標以來，集成電路每前進一代，雜質(zhì)都要減少1/2～1/10。美國材料實驗學會(ASTM)1983、1990年頒發(fā)的電子級水質(zhì)標準已不能適應超大規(guī)模集成電路迅速發(fā)展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴格的水質(zhì)指標。
二、項目參數(shù)
1、膜型號：德蘭梅爾超純水反滲透膜SCW20
2、產(chǎn)水量：800T/D
3、采用工藝：RO+EDI+拋光
4、出水水質(zhì)：18兆歐電子級超純水
三、項目工藝
在預處理階段，“RO+EDI+拋光混床”工藝與傳統(tǒng)超純水處理工藝基本相同。原水經(jīng)過嚴格預處理之后，進入RO反滲透系統(tǒng)，出水立刻送至EDI裝置中，此時出水已經(jīng)達到一般工業(yè)用超純水要求，再經(jīng)過拋光混床對出水進行深層次處理，保證出水無任何雜質(zhì)，達到18兆歐電子級超純水標準。
四、德蘭梅爾超純水反滲透膜應用優(yōu)勢
1、德蘭梅爾超純水反滲透膜高脫鹽率、高抗污染，保證膜元件的穩(wěn)定運行。
2、德蘭梅爾超純水反滲透膜對高硼、硅、鍺等金屬元素具有高去除率。
3、德蘭梅爾超純水反滲透膜清洗周期長，出水水質(zhì)穩(wěn)定，有效節(jié)約運行成本。
4、德蘭梅爾超純水反滲透膜適合超純水行業(yè)EDI系統(tǒng)之前作為脫鹽組件，保證EDI系統(tǒng)安全穩(wěn)定運行，確保出水達標。
德蘭梅爾(www.rofanshentou.com )超純水反滲透膜可應用于電子行業(yè)、超純水行業(yè)、電廠、石油化工行業(yè)等。德蘭梅爾膜產(chǎn)品性能穩(wěn)定，可以節(jié)省投資、降低運行費用、減少單位消耗。德蘭梅爾膜產(chǎn)品廣泛應用于電力、石油化工、醫(yī)藥、食品飲料、生物制藥、鋼鐵、紡織、市政及環(huán)保等領域，在海水淡化、工業(yè)純水、電子級超純水、中水回用、生物制藥、食品行業(yè)分離濃縮過程中發(fā)揮著重要的作用。
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