一年一度的LED行業(yè)盛會"OFweek LED Awards2014行業(yè)年度評選"目前企業(yè)參評報名已近入尾聲，并即將進(jìn)入"用戶投票及專家評選階段"（2014年9月15日-2014年10月15日）。OFweek LED Awards評選涵括LED產(chǎn)業(yè)鏈的上游至下游，被譽(yù)為業(yè)界"奧斯卡獎"，影響頗深。該評選由OFweek中國高科技行業(yè)門戶主辦、OFweek半導(dǎo)體照明網(wǎng)及OFweek照明網(wǎng)共同承辦，已連續(xù)舉辦第四年，是OFweek2014年高科技行業(yè)重要的評選活動之一。
此次評選北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司將攜NMC EPEETM 550 PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)）產(chǎn)品參加"最佳LED設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新獎"評選。
北方微電子公司于2013年1月開始布局LED領(lǐng)域的PECVD設(shè)備開發(fā)，歷經(jīng)1年時間完成設(shè)備開發(fā)及優(yōu)化，于2014年4月形成首臺銷售，5月份客戶端調(diào)試，6月初實現(xiàn)量產(chǎn)。6月份第二臺設(shè)備同時實現(xiàn)銷售，1個月后實現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)。設(shè)備工藝結(jié)果能夠滿足客戶不同芯片工藝的需求，生產(chǎn)運(yùn)行穩(wěn)定，獲得了客戶的高度認(rèn)可。
NMC EPEETM 550 PECVD是一款面向LED領(lǐng)域的大產(chǎn)能PECVD設(shè)備，適用于LED芯片制造中的保護(hù)層、SWE掩膜層、CBL等工藝制程。，可用于SiO2、SiNx、SiONx等高質(zhì)量薄膜的沉積。該設(shè)備具有運(yùn)行穩(wěn)定，、維護(hù)簡單快捷，產(chǎn)能輸出大，沉積膜層質(zhì)量優(yōu)異等特點。機(jī)臺運(yùn)行的主要過程包括：人工手動上片，自動合蓋，執(zhí)行工藝開始，設(shè)備自動按照預(yù)設(shè)的菜單，完成腔室狀態(tài)檢測，薄膜工藝沉積等多項內(nèi)容。工藝完畢，腔室經(jīng)充分吹掃后切換至大氣狀態(tài)，自動開蓋后，人工下片。重復(fù)此循環(huán)，進(jìn)行批量生產(chǎn)。
該設(shè)備整機(jī)集成度較高，控制系統(tǒng)和Gasbox均集成在主機(jī)內(nèi)，整體占地小，集成度高，維護(hù)操作方便；工藝進(jìn)氣方式為中心進(jìn)氣、雙層勻流，反應(yīng)腔為中心下抽結(jié)構(gòu)，能夠形成良好的氣體輸入及分配結(jié)構(gòu)，保證不同片位之間的工藝均勻性；上電極采用陶瓷隔離結(jié)構(gòu)，具有高氣壓和高功率的工藝起輝能力，無工藝打火風(fēng)險。既能有效提高工藝沉積速率，同時可提高腔室清洗時速率，有利于提升設(shè)備產(chǎn)能；針對LED行業(yè)主流的2"和4"片，載片臺采用三區(qū)加熱方式，內(nèi)區(qū)和中區(qū)控制晶片的加熱，外區(qū)則在晶片范圍以外實現(xiàn)邊緣保溫效果，從而保證載片臺內(nèi)良好的溫度均勻性。針對腔室、上蓋及o-ring等位置，添加冷卻結(jié)構(gòu)，控制非加熱部件的溫度，延長部件使用壽命，提高機(jī)臺安全性；設(shè)備裝片容量61片2"或16片4"或7片6"，無論是目前的小尺寸晶片還是未來的大尺寸晶片，都可以在EPEE550上獲得具有優(yōu)勢的產(chǎn)能。同時可針對客戶的特殊要求，能夠進(jìn)行裝片尺寸、數(shù)量、排布的定制化；設(shè)備具有過渡腔顆粒收集結(jié)構(gòu)（專利技術(shù)），收集副產(chǎn)物顆粒，減少對于真空泵組的顆粒污染，延長泵組使用壽命。規(guī)、閥安裝口具有防顆粒結(jié)構(gòu)，延長部件壽命，同時均增加維護(hù)盲板，便于顆粒清理；設(shè)備定期進(jìn)行在線干法自動清洗，清洗速率快，清洗效果優(yōu)異，清洗范圍覆蓋上、下電極及腔室側(cè)壁，清洗后工藝恢復(fù)時間短，可快速轉(zhuǎn)換為生產(chǎn)模式。
PECVD作為LED領(lǐng)域的制程設(shè)備之一，廣泛應(yīng)用于鈍化層、阻擋層、保護(hù)層等工藝，是LED芯片生產(chǎn)中的重要組成部分。目前能夠提供LED領(lǐng)域生產(chǎn)型PECVD設(shè)備的廠商主要來自國外，如Ulvac、Oxford、Samco等廠商。存在設(shè)備價格昂貴，難以提供穩(wěn)定、持久的國內(nèi)售后服務(wù)，以及后期新工藝開發(fā)的支持力度不夠等缺點。
通過2014年LED市場逐漸趨于火熱的大環(huán)境推動，國內(nèi)主要LED廠商均在擴(kuò)充產(chǎn)能、提升技術(shù)、降低成本。國產(chǎn)LEDPECVD設(shè)備的適時推出，將以其優(yōu)異的機(jī)臺性能，更具競爭力的設(shè)備產(chǎn)能及使用成本，高效快捷的售后服務(wù)，協(xié)助客戶在LED領(lǐng)域不斷取得產(chǎn)能、性能、成本方面的競爭優(yōu)勢，實現(xiàn)設(shè)備自身在LED領(lǐng)域更多的市場份額，最終形成與客戶的共同成長與發(fā)展。
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